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发明名称 PROCESS FOR THE PRODUCTION OF OPTICAL COMPONENTS WITH COUPLED OPTICAL WAVEGUIDES AND OPTICAL COMPONENTS PRODUCED BY SAID METHOD
摘要
申请公布号 EP0883825(A1) 申请公布日期 1998.12.16
申请号 EP19970905138 申请日期 1997.02.28
申请人 INSTITUT FUER MIKROTECHNIK MAINZ GMBH 发明人 PAATZSCH, THOMAS;SMAGLINSKI, INGO
分类号 G02B6/30;G02B6/36;G03F7/00;(IPC1-7):G02B6/12 主分类号 G02B6/30
代理机构 代理人
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