发明名称 PRODUCTION DEVICE OF METALLIC FINE BALL AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10330807(A) 申请公布日期 1998.12.15
申请号 JP19970143729 申请日期 1997.06.02
申请人 NEC CORP 发明人 ISOZAKI SEIYA
分类号 B21D43/00;B22F1/00;B22F9/04;B22F9/08;H01L21/321;H01L21/60;(IPC1-7):B22F9/08 主分类号 B21D43/00
代理机构 代理人
主权项
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