发明名称 POSITIVE-WORKING RADIATION-SENSITIVE MIXTURES AND COPYING MATERIAL PRODUCED THEREFROM
摘要
申请公布号 KR0163953(B1) 申请公布日期 1998.12.15
申请号 KR19900014098 申请日期 1990.09.07
申请人 HOECHST AG 发明人 PAWLOWSKI, GEORG;MERREM, HANS-JOACHIM;LINGNAU, JUERGEN;DAMMEL, RALPH;ROESCHERT, HORST
分类号 G03F7/039;G03F7/004;G03F7/016;G03F7/075;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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