| 发明名称 |
REACTIVE ION ETCHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10330973(A) |
申请公布日期 |
1998.12.15 |
| 申请号 |
JP19970157628 |
申请日期 |
1997.05.30 |
| 申请人 |
TOYO COMMUN EQUIP CO LTD |
发明人 |
MATSUMURA FUMIO;FUJII YOICHI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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