发明名称 DEVICE FOR HORIZONTALLY CONTROLLING LENS SUPPORTING FRAME OF STEPPER
摘要
申请公布号 KR0132209(Y1) 申请公布日期 1998.12.15
申请号 KR19960008178U 申请日期 1996.04.16
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 KONG, MYUNG-HWAN
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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