发明名称 LIQUID RAW MATERIAL FEEDING DEVICE FOR CVD
摘要
申请公布号 JPH10330941(A) 申请公布日期 1998.12.15
申请号 JP19970146901 申请日期 1997.06.04
申请人 FUJIKURA LTD;CHUBU ELECTRIC POWER CO INC 发明人 ONABE KAZUNORI;SADAKATA NOBUYUKI;SAITO TAKASHI;NAGAYA SHIGEO
分类号 C30B25/16;C23C16/44;C23C16/448;C30B29/22;C30B35/00;H01B13/00;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C30B25/16
代理机构 代理人
主权项
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