发明名称 |
LIQUID RAW MATERIAL FEEDING DEVICE FOR CVD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10330941(A) |
申请公布日期 |
1998.12.15 |
申请号 |
JP19970146901 |
申请日期 |
1997.06.04 |
申请人 |
FUJIKURA LTD;CHUBU ELECTRIC POWER CO INC |
发明人 |
ONABE KAZUNORI;SADAKATA NOBUYUKI;SAITO TAKASHI;NAGAYA SHIGEO |
分类号 |
C30B25/16;C23C16/44;C23C16/448;C30B29/22;C30B35/00;H01B13/00;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C30B25/16 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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