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发明名称 METHOD OF FABRICATING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0168144(B1) 申请公布日期 1998.12.15
申请号 KR19940002769 申请日期 1994.02.17
申请人 NEC CORP. 发明人 KAMIYAMA, SATOSHI
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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