发明名称 METHOD FOR FORMING A RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 KR0160921(B1) 申请公布日期 1998.12.15
申请号 KR19950005875 申请日期 1995.03.20
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 KISHIMURA, SHINJI
分类号 G03F7/09;G03F7/11;G03F7/26;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/11 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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