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发明名称 DIE SET STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0165601(B1) 申请公布日期 1998.12.15
申请号 KR19950017823 申请日期 1995.06.28
申请人 ANAM IND. CO.,LTD;ANAM PRECISION CO.,LTD 发明人 PARK, JONG-MOON;KIM, JONG-HWAN
分类号 H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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