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发明名称
CAPACITOR FABRICATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR0168362(B1)
申请公布日期
1998.12.15
申请号
KR19950012622
申请日期
1995.05.19
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD
发明人
PARK, YONG-WUK;YU, CHA-YONG;KIM, YONG-SUN;SHIN, SE-JIN
分类号
H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/10
主分类号
H01L27/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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