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发明名称 PROBE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0152260(B1) 申请公布日期 1998.12.15
申请号 KR19890009255 申请日期 1989.06.30
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 TAKAO, ITARU;KARASAWA, WATARU;ITOYAMA, TAKETOSHI;OBIKAWE, TADASHI;KOIKE, HISASHI
分类号 H01L21/66;G01R1/04;G01R1/067;(IPC1-7):G01R1/067 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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