发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER PATTERN PHOTOGRAPHING MICROSCOPE
摘要
申请公布号 KR0126547(Y1) 申请公布日期 1998.12.15
申请号 KR19920024650U 申请日期 1992.12.08
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 LEE, HEE-MOOK;OH, YONG-KYUN
分类号 G02B21/00;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
主权项
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