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发明名称
COLOR RESIST COATING METHOD
摘要
申请公布号
JPH10328614(A)
申请公布日期
1998.12.15
申请号
JP19970141274
申请日期
1997.05.30
申请人
MITSUBISHI CHEM CORP
发明人
GOMI YOSHIYUKI
分类号
G01B11/06;B05C11/08;B05D1/40;B05D3/00;G02B5/00;G02B5/20;G03F7/004;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):B05D1/40
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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