发明名称 COLOR RESIST COATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10328614(A) 申请公布日期 1998.12.15
申请号 JP19970141274 申请日期 1997.05.30
申请人 MITSUBISHI CHEM CORP 发明人 GOMI YOSHIYUKI
分类号 G01B11/06;B05C11/08;B05D1/40;B05D3/00;G02B5/00;G02B5/20;G03F7/004;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):B05D1/40 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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