| 发明名称 |
IONIZATION SPUTTERING DEVICE AND IONIZATION SPUTTERING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10330938(A) |
申请公布日期 |
1998.12.15 |
| 申请号 |
JP19970155981 |
申请日期 |
1997.05.28 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
SASAKI MASAO;FUNATO KIYOHIKO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/04;C23C14/35;C23C14/46;H01J37/34;H01L21/768;(IPC1-7):C23C14/46 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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