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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR0167271(B1) 申请公布日期 1998.12.15
申请号 KR19950045523 申请日期 1995.11.30
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 HWANG, EE-YEUN
分类号 H01L29/78;H01L21/225;H01L21/266;H01L21/336;H01L29/10;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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