EXPOSURE APPARATUS FOR FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号KR19950055691-传众专利搜索

发明名称	EXPOSURE APPARATUS FOR FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	KR0160856(B1)	申请公布日期	1998.12.15
申请号	KR19950055691	申请日期	1995.12.23
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD	发明人	YU, HEE-YONG;JANG, INN-JIN;KIM, TAE-YONG
分类号	G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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