| 发明名称 |
APPARATUS FOR PROJECTING A MASK PATTERN ON A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0158681(B1) |
申请公布日期 |
1998.12.15 |
| 申请号 |
KR19900005457 |
申请日期 |
1990.04.19 |
| 申请人 |
A.S.M. LITHOGRAPHY |
发明人 |
WITTEKOEK, STEFAN;VAN DEN BRINK, MARINUS A. |
| 分类号 |
G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F9/00;G01B9/02 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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