| 发明名称 |
LOW-PERMITTIVITY MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10330486(A) |
申请公布日期 |
1998.12.15 |
| 申请号 |
JP19970138690 |
申请日期 |
1997.05.28 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
YAMADA NORIKO;TAKAHASHI TORU;KATAYAMA SHINGO;MATSUZAKI YOICHI;NOGAMI ATSUSHI |
| 分类号 |
C08G77/22;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):C08G77/22 |
主分类号 |
C08G77/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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