| 发明名称 |
SIMPLE METHOD FOR MEASURING TEMPERATURE DISTRIBUTION OF SINGLE CRYSTAL AND PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL OF SILICON USING THE SIMPLE MEASUREMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10330189(A) |
申请公布日期 |
1998.12.15 |
| 申请号 |
JP19980032011 |
申请日期 |
1998.01.28 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
ISHIKAWA FUMITAKA;SAISHOJI TOSHIAKI;NAKAMURA KOZO |
| 分类号 |
G01K1/02;C30B15/20;C30B29/06;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
G01K1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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