发明名称 条纹图案检查装置
摘要 【课题】在面板之BM条纹图案之检查,作业员定期校正检查系统之检查精度。还有,形成BM条纹图案之台之补偿、调整作业仰赖作业员之人工作业。【解决手段】提供一种条纹图案检查装置,其功能包括定期检查条纹图案检查装置之检查系统所内藏的标准条纹图案面板S,自动诊断检查装置之检查系统精度之功能;将实际检查之条纹图案之检查值之趋势管理所得到的资料回馈到形成BM条纹图案之曝光台20;以及自动控制曝光台20之调光用滤光镜6之X、Y座标轴方向及(或)曝光用光源4之照度。
申请公布号 TW347548 申请公布日期 1998.12.11
申请号 TW086110438 申请日期 1997.07.22
申请人 电气股份有限公司 发明人 山田充
分类号 H01J9/227;H01J9/42 主分类号 H01J9/227
代理机构 代理人 洪澄文 台北巿信义路四段二七九号三楼
主权项 1.一种条纹图案检查装置,检查在彩色阴极射线管 之面板 内面形成之黑矩阵膜之RGB条纹图案,其特征为包括 :附 自动对焦机构之CCD照相机、保持并移动该CCD照相 机之水 平移动机构部、转动该水平移动机构部之旋转机 构部、自 该CCD照相机所拍摄之放大影像对个别的该条纹图 案进行 处理检查之影像处理部、以及透射用光源。2.如 申请专利范围第1项之条纹图案检查装置,其中该 影 像处理部自该放大影像对RGB3色中之同色条纹取样 多点, 检查个别的条纹宽。3.如申请专利范围第1项之条 纹图案检查装置,其中该影 像处理部自该放大影像将RGB3色之条纹当作1组取 样多点 ,检查各色间之条纹间距。4.如申请专利范围第1项 之条纹图案检查装置,其中检查 该面板之中央部及周边部多处之该条纹图案。5. 如申请专利范围第1项之条纹图案检查装置,其中 该影 像处理部对该条纹图案之检查资料进行趋势管理 。6.一种条纹图案检查装置,藉着在如申请专利范 围第5项 之条纹图案检查装置附加曝光台和控制部,检查标 准条纹 图案,具有自动诊断该检查装置之检查系统精度之 自我诊 断处理功能。7.如申请专利范围第6项之条纹图案 检查装置,其中在该 条纹图案检查装置之检查系统内藏该标准条纹图 案。8.如申请专利范围第6项之条纹图案检查装置, 其中具有 利用该影像处理部所进行趋势管理之该数据资料 控制形成 该条纹之该曝光台之设定条件之控制部。9.如申 请专利范围第8项之条纹图案检查装置,其中控制 该曝光台之设定条件为设定调光用滤光镜之X、Y 座标之调 光用滤光镜移动机构部及(或)设定曝光用光源之 照度之光 源输出可变机构部。10.如申请专利范围第6项之条 纹图案检查装置,其中该自 我诊断处理部侦测到异常时,发出警报,使该条纹 图案检 查装置停机。图式简单说明:第一图表示本发明之 实施例 1之条纹图案检查装置之构造图。第二图表示利用 本发明 之BM条纹图案之检查处之立体图。第三图表示利 用本发明 之Grouping之概要说明图。第四图表示利用条纹图 案检查 装置之影像处理之相片。第五图表示利用本发明 之附资料 处理功能之影像处理部之构造图。第六图表示本 发明之实 施例2之条纹图案检查装置之构造图。第七图表示 习知之 一般的彩色阴极射线管用曝光台之构造图。第八 图表示习 知之孔径检查装置之构造图。
地址 日本