| 主权项 |
1.一种适用于抛光二氧化矽、矽酸盐及氮化矽之 组成物, 其包括一由次微米大小二氧化矽(SiO2)粒子与一可 溶性无 机盐或与多种可溶性无机盐之组合所构成的水性 浆液,总 溶液浓度系低于该浆液之临界凝结浓度,其中该浆 液之pH 値系藉由添加一可溶性铵或多种可溶性铵之混合 物而调整 至9至10之范围内。2.如申请专利范围第1项之组成 物,其中该可溶性无机盐 或可溶性无机盐之组合系以一为0.01重量%至1.0重 量%之 浓度存在。3.如申请专利范围第2项之组成物,其中 该可溶性无机盐 或可溶性无机盐之组合含有选自于由NH4+、Cs+及Ba2 +所 构之群组中的阳离子。4.如申请专利范围第1.2或3 项之组成物,其更包含一种 多羟基醇。5.如申请专利范围第4项之组成物,其中 该多羟基醇为1,2 -丙二醇。6.如申请专利范围第3项之组成物,其包 括0.05重量%之硝 酸钡及13重量%之烟燻氧化矽,其中该pH値系藉由添 加单 乙醇胺而调整至9.6。7.如申请专利范围第3项之组 成物,其包括0.3重量%之硝 酸铵、0.05重量%之硝酸钡及13重量%之烟燻氧化矽, 其中 该pH値系藉由添加单乙醇胺而调整至9.6。8.如申请 专利范围第3项之组成物,其包括0.3重量%之硝 酸铵、0.5重量%之硝酸铯及13重量%之烟燻氧化矽, 其中 该pH値系藉由添加单乙醇胺而调整至9.6。9.如申请 专利范围第3项之组成物,其包括0.95重量%之硝 酸铯、500ppm之1,2-丙二醇及13重量%之烟燻氧化矽, 其 中该pH値系藉由添加单乙醇胺而调整至9.6。 |
