发明名称 Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE68928760(T2) 申请公布日期 1998.12.10
申请号 DE19896028760T 申请日期 1989.05.19
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 YAMAUCHI, TUNENORI, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 214, JP
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/8226;H01L27/082;H01L29/732;(IPC1-7):H01L27/08;H01L21/82;H01L29/08;H01L29/10 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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