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发明名称
Halbleiterwaferkassette
摘要
申请公布号
DE69414277(D1)
申请公布日期
1998.12.10
申请号
DE19946014277
申请日期
1994.01.28
申请人
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
TERASHIMA, SEIICHI, USUI-GUN, GUNMA-KEN, JP
分类号
B65D85/00;B65D85/86;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
B65D85/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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