| 发明名称 |
DEFLECTION DATA AND CORRECTION DATA ACQUIRING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10321504(A) |
申请公布日期 |
1998.12.04 |
| 申请号 |
JP19970129062 |
申请日期 |
1997.05.20 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;ADVANTEST CORP |
发明人 |
YAMADA AKIO;ONO MANABU;TANAKA HITOSHI |
| 分类号 |
H01J37/305;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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