发明名称 METALLIC THIN FILM FORMATION
摘要
申请公布号 JPH10321621(A) 申请公布日期 1998.12.04
申请号 JP19970128370 申请日期 1997.05.19
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 AWAYA NOBUYOSHI;KOBAYASHI TOSHIO;MACHIDA KATSUYUKI;KURAKI OKU;HIRATA AKIHIKO
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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