| 发明名称 |
METHOD FOR FINDING OF CENTER OF MARK |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10318710(A) |
申请公布日期 |
1998.12.04 |
| 申请号 |
JP19970144749 |
申请日期 |
1997.05.19 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
KOITABASHI HIDEKI;GOTO EIJI |
| 分类号 |
G01B11/00;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
