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发明名称 TREATING BOAT FOR ANNEALING FURNACE
摘要
申请公布号 JPH10321540(A) 申请公布日期 1998.12.04
申请号 JP19970129454 申请日期 1997.05.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOUJI YOSHIHARU
分类号 H01L21/22;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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