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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10321593(A) 申请公布日期 1998.12.04
申请号 JP19970143123 申请日期 1997.05.16
申请人 NEC CORP 发明人 HIRASAWA TOSHIMI
分类号 H01L21/28;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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