| 发明名称 |
FILM DEPOSITION METHOD AND FILM DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10321558(A) |
申请公布日期 |
1998.12.04 |
| 申请号 |
JP19970145855 |
申请日期 |
1997.05.20 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
TADA KUNIHIRO;TEZUKA YOSHIHIRO;HAYASHI KAZUICHI |
| 分类号 |
C23C16/02;C23C16/14;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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