| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM LITHOGRAPHIC METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10321494(A) |
申请公布日期 |
1998.12.04 |
| 申请号 |
JP19970124163 |
申请日期 |
1997.05.14 |
| 申请人 |
TOSHIBA MACH CO LTD;TOSHIBA CORP |
发明人 |
IIJIMA TOMOHIRO;HATTORI YOSHIAKI;ABE TAKAYUKI |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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