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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10321846(A) 申请公布日期 1998.12.04
申请号 JP19970130107 申请日期 1997.05.20
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIDA TAKESHI
分类号 H01L29/78;H01L21/316;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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