| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR CLEANING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10321578(A) |
申请公布日期 |
1998.12.04 |
| 申请号 |
JP19970131909 |
申请日期 |
1997.05.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TANAKA YUICHIRO;TSUTSUI YOSHITAKA;DAIROKU NORIYUKI;HIRABAYASHI HISAAKI;OTA KATSUHIRO;NOGUCHI YUJI;ITO HARUO |
| 分类号 |
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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