Fotoresist für nahes U.V.,申请号DE19906032077T-传众专利搜索

发明名称	Fotoresist für nahes U.V.
摘要
申请公布号	DE69032077(T2)	申请公布日期	1998.12.03
申请号	DE19906032077T	申请日期	1990.08.03
申请人	SHIPLEY CO., INC., NEWTON, MASS., US	发明人	LAMOLA, ANGELO A., SUDBURY, MA 01776, US;CALABRESE, GARY, NORTH ANDOVER, MA 01845, US;SINTA, ROGER, WOBURN, MA 01801, US
分类号	C07D265/38;C07D279/20;C07D279/22;C07D279/36;C07D293/10;C08F2/50;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/038	主分类号	C07D265/38
代理机构		代理人
主权项
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