发明名称 PIEZOELEKTRISCHE MIKROMEMBRANPUMPE ZUM NIEDERDRUCKPUMPEN VON GASEN
摘要
申请公布号 DE69505689(D1) 申请公布日期 1998.12.03
申请号 DE19956005689 申请日期 1995.09.21
申请人 NORTHROP GRUMMAN CORP., LOS ANGELES, CALIF., US 发明人 YOUNG, ROBERT, PITTSBURGH, PA 15215, US;FREIDHOFF, CARL, B., MURRYSVILLE, PA 15668, US;POLLA, DENNIS, L., BROOKLYN PARK, MN 55443, US;SCHILLER, PETER, J., PLYMOUTH, MN 55442, US
分类号 G01N27/62;F04B43/02;F04B43/04;H01J49/24;H01J49/28;(IPC1-7):F04B43/04 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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