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发明名称 Scheibenhalter und Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe
摘要
申请公布号 DE19722679(A1) 申请公布日期 1998.12.03
申请号 DE19971022679 申请日期 1997.05.30
申请人 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN AG, 84489 BURGHAUSEN, DE 发明人 HUBER, ANTON, DIPL.-ING. (FH), 84489 BURGHAUSEN, DE;DREXLER, ROBERT, 84375 KIRCHDORF, DE
分类号 B24B1/00;B24B7/16;B24B7/22;B24B37/04;B24B41/06;H01L21/304;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
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