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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Temperatur eines rotierenden Trägers
摘要
申请公布号 DE19702140(C2) 申请公布日期 1998.12.03
申请号 DE19971002140 申请日期 1997.01.22
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 OBERSCHMID, REIMUND, DR., 93161 SINZING, DE;SPORRER, KONRAD, 93059 REGENSBURG, DE
分类号 G01K7/38;(IPC1-7):G01K7/38;G01K13/08;H01L21/68 主分类号 G01K7/38
代理机构 代理人
主权项
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