VERFAHREN UND VORRICHTUNG FÜR DIE NIEDERTEMPERATUR-ABLAGERUNG VON CVD- UND PECVD-FILMEN,申请号DE1994614274-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN UND VORRICHTUNG FÜR DIE NIEDERTEMPERATUR-ABLAGERUNG VON CVD- UND PECVD-FILMEN
摘要
申请公布号	DE69414274(D1)	申请公布日期	1998.12.03
申请号	DE1994614274	申请日期	1994.11.29
申请人	TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	FOSTER, ROBERT, F., PHOENIX, AZ 85044, US;HILLMAN, JOSEPH, T., SCOTTSDALE, AZ 85250, US;ARORA, RIKHIT, MESA, AZ 85202, US
分类号	C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/50;C23C16/509;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/50;C23C16/52	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
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