发明名称 Resistmaterial und Verfahren zur Herstellung eines Musters
摘要
申请公布号 DE69227405(D1) 申请公布日期 1998.12.03
申请号 DE1992627405 申请日期 1992.06.09
申请人 WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP;MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP 发明人 URANO, FUMIYOSHI, TOKYO KENKYUSHO OF WAKO, KAWAGOE-SHI, JP;FUJIE, HIROTOSHI, TOKYO KENKYUSHO OF WAKO, KAWAGOE-SHI, JP;OONO, KEIJI, TOKYO KENKYUSHO OF WAKO, KAWAGOE-SHI, JP;NEGISHI, TAKAAKI, TOKYO KENKYUSHO OF WAKO, KAWAGOE-SHI, JP
分类号 G03F7/004;G03F7/028;G03F7/039;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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