发明名称 ION BEAM SPUTTERING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH10317138(A) 申请公布日期 1998.12.02
申请号 JP19970124223 申请日期 1997.05.14
申请人 JAPAN AVIATION ELECTRON IND LTD 发明人 WATANABE KOJI
分类号 C23C14/46;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/46 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
主权项
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