Wafer chuck and method of manufacturing a semiconductor wafer

摘要

Gegenstand der Erfindung ist ein Scheibenhalter (Chuck) mit einer Auflage zum Fixieren einer Halbleiterscheibe beim Schleifen und ein Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe, die zwei eben geschliffene Seiten und eine verrundete Kante aufweist. Der Scheibenhalter besitzt eine Auflage, die aus einem weichen Material besteht. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß die Halbleiterscheibe beim Schleifen der ersten Seite auf einem Scheibenhalter mit einer weichen Auflage fixiert ist und beim Schleifen der zweiten Seite auf einem Scheibenhalter mit einer harten Auflage fixiert ist. <IMAGE>