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发明名称
摘要
申请公布号
JP2830148(B2)
申请公布日期
1998.12.02
申请号
JP19890225004
申请日期
1989.08.31
申请人
SONII KK
发明人
NOGUCHI TAKASHI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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