发明名称
摘要
申请公布号 JP2830148(B2) 申请公布日期 1998.12.02
申请号 JP19890225004 申请日期 1989.08.31
申请人 SONII KK 发明人 NOGUCHI TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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