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发明名称 PROCESS FOR CONTROL OF THE ENERGY DISTRIBUTION IN BIPOLAR LOW-PRESSURE GLOW PROCESSES
摘要
申请公布号 EP0880795(A1) 申请公布日期 1998.12.02
申请号 EP19970917221 申请日期 1997.02.07
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER 发明人 KOPTE, TORSTEN, DR. RER. NAT.;WINKLER, TORSTEN;KIRCHHOFF, VOLKER, DR. RER. NAT.
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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