发明名称 Method of making synthetic diamond film with reduced bowing
摘要
申请公布号 EP0695816(B1) 申请公布日期 1998.12.02
申请号 EP19950201797 申请日期 1995.07.01
申请人 SAINT-GOBAIN INDUSTRIAL CERAMICS, INC. 发明人 MEROTH, JOHN
分类号 C30B29/04;C30B25/02;C23C16/01;C23C16/27;(IPC1-7):C23C16/26;C23C16/50 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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