发明名称 |
Method of making synthetic diamond film with reduced bowing |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0695816(B1) |
申请公布日期 |
1998.12.02 |
申请号 |
EP19950201797 |
申请日期 |
1995.07.01 |
申请人 |
SAINT-GOBAIN INDUSTRIAL CERAMICS, INC. |
发明人 |
MEROTH, JOHN |
分类号 |
C30B29/04;C30B25/02;C23C16/01;C23C16/27;(IPC1-7):C23C16/26;C23C16/50 |
主分类号 |
C30B29/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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