发明名称 | 检测大型激光放大器的L形菲索干涉仪 | ||
摘要 | 一种检测大型激光放大器的L形菲索干涉仪。包含由点光源射出的激光束,通过小孔光阑、分光棱镜和准直物镜出射在垂直方向的平行光束,经过标准平板分成参考光束I<SUB>a</SUB>和检验光束I<SUB>b</SUB>,检验光束I<SUB>b</SUB>通过一标准反射镜变垂直方向为水平方向行进,再穿过被检测系统射入垂直置放的反射镜后自准沿原光路返回,两光束I<SUB>a</SUB>、I<SUB>b</SUB>干涉条纹显示记录于摄象及处理系统。由此给出精确的定量结果。整体结构呈L形,既合理又简单紧凑。 | ||
申请公布号 | CN1041018C | 申请公布日期 | 1998.12.02 |
申请号 | CN95111553.7 | 申请日期 | 1995.03.08 |
申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 徐德衍 |
分类号 | G01M11/02 | 主分类号 | G01M11/02 |
代理机构 | 上海华东专利事务所 | 代理人 | 李兰英 |
主权项 | 1.一种检测大型激光放大器的L形菲索干涉仪,含有由点光源(1)出射的激光束,经小孔光阑进入分光棱镜(15),其特征在于:(1)由分光棱镜(15)出射的光束通过一离焦量Δf较微小的能使附加光程差Δ尽量小的准直物镜(16)后射出在垂直方向上的平行光束;(2)上述垂直方向上的平行光束经过上面镀有增透膜而下面不镀膜的标准平板(17)后,分成两束垂直走向的光束,其中反射的一小部分反射光束为参考光束Ia,透过的大部分光束为检验光束Ib;(3)由标准平板(17)透过的大部分垂直走向的检验光束Ib经过反射面相对垂直方向成45度角置放的标准反射镜(18)后将垂直走向的光束引入水平走向;(4)水平走向的检验光束Ib通过被检测系统(19)后射入垂直置放的标准反射镜(20)后自准沿原光路返回;(5)返回的检验光束Ib通过标准平板(17)后与参考光束Ia形成干涉条纹,再经过分光棱镜(15)进入摄象及处理系统(21)给出定量测量结果,整体干涉仪呈L形结构。 | ||
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