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发明名称 Sensor array
摘要
申请公布号 EP0814515(A3) 申请公布日期 1998.12.02
申请号 EP19970304177 申请日期 1997.06.16
申请人 XEROX CORPORATION 发明人 WEISFIELD, RICHARD L.
分类号 G01T1/00;G01T1/24;G09F9/33;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/14;H01L27/146;(IPC1-7):H01L27/146 主分类号 G01T1/00
代理机构 代理人
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