| 发明名称 |
COATING THICKNESS MONITORING DEVICE, VACUUM DEPOSITION METHOD AND VACUUM DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10317141(A) |
申请公布日期 |
1998.12.02 |
| 申请号 |
JP19970336384 |
申请日期 |
1997.11.19 |
| 申请人 |
ASAHI OPTICAL CO LTD |
发明人 |
FUJII HIDEO;ARAKI KIYOSHI |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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