| 发明名称 |
CLEANING GAS AND ETCHING GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10317146(A) |
申请公布日期 |
1998.12.02 |
| 申请号 |
JP19970130120 |
申请日期 |
1997.05.20 |
| 申请人 |
CENTRAL GLASS CO LTD |
发明人 |
MORI ISAMU;TAMURA TETSUYA |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C16/44;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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