| 发明名称 |
LIQUID RAW MATERIAL FEEDING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10317144(A) |
申请公布日期 |
1998.12.02 |
| 申请号 |
JP19970129592 |
申请日期 |
1997.05.20 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
NISHIMURA HIROSHI;SAKURAI NAOAKI |
| 分类号 |
B05C11/10;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
B05C11/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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