| 主权项 |
1.一种薄膜剥离装置,具有将张贴有薄膜之基板沿 着基板 运送面运送至所定方向的基板运送装置,及配设于 上述基 板运送面之途中,并从基板浮起被运送的基板之进 行方向 前端近旁之上述薄膜前端缘的薄膜浮起装置,及喷 涂气体 并掀开该前端缘的气体喷涂装置,及从上述前端缘 侧把持 依上述气体之喷涂被掀开之薄膜并更掀开且运出 的基板运 出装置,及配置于上述基板运送面之比上述薄膜浮 起装置 较上游侧,将基板宽度方向地调整位置,对于该薄 膜浮起 装置施以宽度方向之对位的基板靠近装置所成的 薄膜剥离 装置,其特征为:设置设于上述薄膜运出装置之薄 膜运送 路径之途中或终端近旁,位于薄膜之宽度方向中央 部,及 从该宽度中央部之左左等距离,检测至少两种类之 宽度的 薄膜之宽度方向两端近旁部的薄膜检测装置,及随 着依上 述基板宽度靠近装置之宽度靠近量,输出基板宽度 之制造 的基板宽度检测手段,及随着来自该基板宽度检测 手段之 基板宽度的信号,将上述薄膜检测装置之基板宽度 的外侧 部分予以非作动或将输出信号予以消除的控制装 置。2.如申请专利范围1项所述之薄膜剥离装置,其 中,上述 基板宽度靠近装置系具有从宽度方向至少一方侧 推压基板 的宽度靠近构件;上述基板宽度检测手段系具有与 上述宽 度靠近构件同步地移动,检测基板之宽度方向一端 或两端 的宽度察觉器;及检测该基板察觉器之基板方向位 置的察 觉器位置检测手段。3.如申请专利范围第1项或第2 项所述之薄膜剥离装置,其 中,上述薄膜检测装置系具有:配置于上述薄膜运 出装置 之薄膜运送路径之宽度方向中央部的中央察觉器, 及配置 于检测经薄膜运送路径之最小宽度之薄膜之宽度 方向近旁 位置的最小宽度察觉器,及配置检测经薄膜运送路 径之最 大宽度之薄膜之宽度方向近旁位置的最大宽度察 觉器,及 配置于上述最小度察觉器与最大宽度察觉器之中 间位置的 中间宽度察觉器。4.如申请专利范围第1项或第2项 所述之薄膜剥离装置,其 中,上述薄膜检测装置系薄膜宽度方向较长直线状 地配置 ,对应于通过之薄膜宽度而变化输出的线察觉器; 上述控 制装置系比较该线察觉器之输出与来自上述基板 宽度检测 手段之基板宽度的信号,俾判断薄膜剥离之正常或 异常者 。5.如申请专利范围第1项或第2项所述之薄膜剥离 装置,其 中,在比上述基板运出装置较上游侧位置,设置检 测薄膜 之前端及后端的薄膜竖起察觉器者。图式简单说 明:第一 图系表示本发明之薄膜剥离装置之外观的侧面图 。第二图 系放大表示藉由该薄膜剥离装置剥离保护薄膜之 基板的剖 面图。第三图系放大表示该薄膜剥离装置之基板 运送装置 的平面图。第四图系表示沿着第三图之IV-IV线的 侧面图 。第五图系表示沿着第四图之V-V线的放大侧面图 。第六 图系表示上述薄膜剥离装置之剥离部与薄膜运送 装置之关 系的略示侧面图。第七图系表示放大该薄膜剥离 装置之剥 离部之要部的斜视图。第八图系表示该薄膜剥离 装置之基 板运送装置的侧面图。第九图系表示第八图之IX- IX线箭 视图。第十图系放大表示该薄膜运出装置之一部 分的斜视 图。第十一图系表示该薄膜运出装置之察觉器之 配置的略 示正面图。第十二图系表示该薄膜剥离装置之控 制系统的 方块图。第十三图系表示依上述剥离部之开始薄 膜剥离时 之状态的放大侧面图。第十四图系表示依该剥离 部之薄膜 剥离过程的放大侧面图。 |
