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发明名称 METHOD OF MEASURING ELECTRIC CHARGE OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR0150416(B1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19940012620 申请日期 1994.06.04
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG.CO.,LTD 发明人 MATSUBARA, HIDEAKI;HIRAE, SADAO;KOUNO, MOTOHIRO
分类号 G01Q60/12;G01R29/24;G01R31/265;G01R31/312;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01Q60/12
代理机构 代理人
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